Abstract

【課題】グラフェン電子素子を提供する。 【解決手段】ゲート電極、ゲート電極上に配置されたゲート酸化物、ゲート酸化物上のグラフェンチャネル層、グラフェンチャネル層の両端にそれぞれ配置されたソース電極及びドレイン電極を備えるグラフェン電子素子。グラフェンチャネル層には、複数のナノホールがグラフェンチャネル層の幅方向に一つの列で形成される。更にグラフェンチャネル層には、複数のナノホールがグラフェンチャネル層の長手方向に実質的に直交して配置される。 【選択図】図2
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a graphene electronic element.SOLUTION: The graphene electronic element comprises a gate electrode, a gate oxide arranged on the gate electrode, a graphene channel layer on the gate oxide, and a source electrode and a drain electrode arranged, respectively, at both ends of the graphene channel layer. A plurality of nano holes are formed in one row in the width direction of the graphene channel layer. Furthermore, the plurality of nano holes are arranged in the graphene channel layer substantially perpendicularly to the longitudinal direction thereof.

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