電気機械変換装置

Electromechanical conversion device

Abstract

【課題】電気機械変換エレメント間の静電容量を低減して、エレメント間の信号のクロストークを低減することができる電気機械変換装置を提供する。 【解決手段】電気機械変換装置10では、絶縁部7を介して対向する位置に設けられた第1電極3と第2電極6とを含む電気機械変換エレメント2が半導体基板1の一方の面に形成された絶縁層5上に複数形成されている。第1電極3とは絶縁されて絶縁層5上のエレメント2間に配設された導体配線4と、導体配線4に電圧を印加する第1電圧印加部12と、導体配線4とは極性の異なる電圧を第1電極3に印加する第2電圧印加部13が設けられている。半導体基板1の他方の面の一部は接地されている。 【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromechanical conversion device capable of reducing crosstalk between electromechanical conversion elements by reducing capacitance between the elements.SOLUTION: In an electromechanical conversion device 10, a plurality of electromechanical conversion elements 2, which include a first electrode 3 and a second electrode 6 that are provided so as to face each other via an insulator 7, are formed on an insulating layer 5 formed on one surface of a semiconductor substrate 1. The electromechanical conversion device 10 comprises: conductor wiring 4 that is electrically insulated from the first electrode 3 and is disposed between the elements 2 on the insulating layer 5; a first voltage application part 12 applying a voltage to the conductor wiring 4; and a second voltage application part 13 applying a voltage of a different polarity from that of the conductor wiring 4 to the first electrode 3. A part of the other surface of the semiconductor substrate 1 is connected to ground.

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