光学顕微鏡、及びスペクトル測定方法

Optical microscope and spectrum measurement method

Abstract

【課題】短時間にスペクトル測定を行うことができる光学顕微鏡、及びスペクトル測定方法を提供すること。 【解決手段】本発明の第1の態様にかかる光学顕微鏡は、対物レンズ23を介してレーザ光を試料24に照射するステップと、対物レンズ23を介して、試料で反射した反射光を検出するステップと、レーザ光の焦点位置を光軸方向に変化させるステップと、レーザ光の焦点位置を変化させたときの反射光の検出結果に基づいて、スペクトル測定を行う焦点位置を抽出するステップと、抽出された焦点位置になるように調整するステップと、焦点位置を調整した状態で、レーザ光の照射により試料から出射される出射光をレーザ光から分岐するステップと、レーザ光から分岐された出射光のスペクトルを分光器31で測定するステップと、を備えるものである。 【選択図】 図1
<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical microscope and a spectrum measurement method for measuring a spectrum in a short time. <P>SOLUTION: The optical microscope of a first embodiment includes: a step of irradiating a sample 24 with laser light through an objective lens 23; a step of detecting a reflection light reflected by the sample through the objective lens 23; a step of changing a focus position of the laser light in the direction of an optical axis; a step of extracting the focus position at which a spectrum is measured from detection results of the reflection light when the focus position of the laser light is changed; a step of adjusting the focus position to the extracted focus position; a step of branching the laser light into exit light exiting from the sample irradiated with the laser light while the focus position is adjusted; and a step of measuring the spectrum of the exit light branched from the laser light by a spectroscope 31. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

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