相変化メモリ選択型電子源および描画装置

Phase change memory selection type electron source and pattern drawing apparatus

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a phase change memory selection type electron source, and pattern drawing apparatus, drawing a pattern with smooth contours of the pattern and at high resolution. SOLUTION: The phase change memory selected electron source has: a first electrode group in which a plurality of first electrodes are arranged extending in a certain direction; a second electrode group in which a plurality of second electrodes are arranged extending in another direction normal to the certain direction; and a matrix electrode section which is provided with a resistance layer arranged between the first electrode group and the second electrode group. A phase change memory layer the resistance value of which changes locally with the change of the material phase, an electron transmission layer, and a surface layer, are formed sequentially on the matrix electrode section. The electron source also has: a first power supply section that applies a voltage to the matrix electrode section and to the surface electrode; a second power supply section that applies a voltage to at least one of the first electrodes and to at least one of the second electrodes; and a pattern generation section that selects a first electrode and a second electrode based on the pattern and applies a voltage to the first electrode and the second electrode from the second power supply section. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
【課題】パターンの輪郭が滑らかに、かつ高い解像度で、パターン描画できる相変化メモリ選択型電子源および描画装置を提供する。 【解決手段】本発明の相変化メモリ選択型電子源は、一の方向に伸びる第1の電極が複数配置された第1の電極群、一の方向と直交する他の方向に伸びる第2の電極が複数配置された第2の電極群および第1の電極群と第2の電極群との間に設けられた抵抗層を備えるマトリクス電極部を有し、マトリクス電極部上に順番に、相変化し、局所的に抵抗値が変化する相変化メモリ層、電子通過層および表面電極が形成されている。マトリクス電極部および表面電極に電圧を印加する第1の電源部と、少なくとも1つの第1の電極と少なくとも1つの第2の電極とに電圧を印加する第2の電源部と、パターンに基づいて第1の電極および第2の電極を選択して第2の電源部により電圧を印加させるパターン生成部とを有する。 【選択図】図1

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